High density plasma sources : design, physics and performance /
| 種別: | 図書 |
|---|---|
| 言語: |
英語
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| 出版事項: |
Park Ridge, NJ :
Noyes Publications,
c1995
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| シリーズ: | Materials science and process technology series
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| ISBN: | 0815513771 |
| 主題: |
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