Thin-film deposition : principles and practice /
| 種別: | 図書 |
|---|---|
| 言語: |
英語
|
| 出版事項: |
New York ; Tokyo :
McGraw-Hill,
c1995
|
| ISBN: | 9780070585027 0071139133 |
| 主題: |
| 記述事項: | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 形態事項: | xxiii, 616 p. : ill. ; 24 cm |