Microelectronics processing : inorganic materials characterization /
| 種別: | 図書 |
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| 言語: |
英語
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| 出版事項: |
Washington, DC :
American Chemical Society,
1986
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| シリーズ: | ACS symposium series
295 |
| ISBN: | 0841209340 |
| 主題: |
| 記述事項: | Includes bibliographies and indexes |
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| 形態事項: | x, 443 p : 24 cm |